三床式RTO    

三床式RTO也同樣采用閥門切換式，由三個或多個陶瓷填充床組成，在二床式RTO中增加了“清除”功能，大大提高了廢氣分解效率。

以三床式RTO為例

階段1 ：廢氣在蓄熱床a預熱后，進入燃燒室燃燒，殘留在蓄熱床c的未處理廢氣被凈化的氣體返回燃燒室進行焚燒處理(凈化功能)，焚燒爐分解后的廢氣通過蓄熱床b排出，同時蓄熱床b被加熱。 

階段2 ：廢氣在蓄熱床b被預熱，然后進入燃燒室燃燒，殘留在蓄熱床a的未處理廢氣被凈化的氣體返回燃燒室進行焚燒處理，分解后的廢氣通過蓄熱床c排出，同時蓄熱床c被加熱。 

階段3 ：廢氣在蓄熱床c被預熱，之后進入人的燃燒室燃燒，殘留在蓄熱床b的未處理廢氣被凈化后的氣體被吹回燃燒室，燃燒處理分解后的廢氣通過蓄熱床a排出，同時蓄熱床a被加熱。 如果這樣周期性地運轉，則廢氣在燃燒室內被氧化分解，燃燒室內的溫度維持在設定溫度(一般為800-850℃)。 當RTO進氣口的廢氣濃度達到一定值時，VOCs氧化放出的熱量能夠維持RTO蓄熱和散熱的能量儲備，此時RTO能夠不使用燃料而維持燃燒室內的溫度。 大量工程應用，三床式RTO的VOCs最高分解效率達到99%，最大綜合熱效率達到95%，進出口溫差在40℃左右，閥門切換時，排氣管道內壓力波動為±250pa。